某半导体行业存储芯片鑫霖环保九正通明在晶圆鑫霖环保进程中,适用硅烷来进行硅本质生张,废气排放洗衣塔所产生高密度含硅电镀污水。电镀污水体现了pH冲击大(2-11)、硅含量的高的特色,以往治理 手段易出来硅垢短路疑问。
生活污水组成及源头
化工废水一般组成成分为:
降解性硅酸盐
:SiO₂溶液浓度达1000-1500mg/L
磷酸/氢阳极氧化钠
:干洗塔酸碱平衡干洗液残渣
粒状硅
:奈米级SiO₂悬浊液
痕量砷
:塑料原材料溶物带进去
正确处理加工制作工艺 程序流程
自主创新用"两极中合+膜筛选+减压蒸馏结晶体"新工艺:
两级中合
:用CaO的调节pH至4-5,转成硅酸钙沉淀自己,硅清掉率60%。
中级中合
:加Na₂CO₃将pH提高自己至9,进几步沉垫剩下硅,串连用镁剂除砷。
反渗透膜系统的
:0.02μm陶瓷厂家膜油烟净化器納米级硅颗粒物,通量平稳在80LMH。
MVR减压蒸馏器
:浓缩咖啡高盐工业废水,结晶体出Na₂SO₄副好产品,水回收率超90%。
从而特效
总硅从1500mg/L调至5mg/L之下
砷含磷量从0.8mg/L降下来0.01mg/L
体统无积灰正常运作高达2年
第年收回磷酸钠结晶约800吨