该例案源于华北的地方开家超大型半导体器件制造出公司,最主要的种植加工集合控制电路IC芯片。在种植加工流程中,晶圆难以清理、蚀刻等工艺技术需运行海量電子级磷酸(饱和度≥85%),进而带来高氧化还原电位含磷污废水 。公司增加了治疗公共设施不了具备发展按照严格的污染物规范(TP≤0.5mg/L),需要持续改良。
废水处理工艺化学成分及渠道
废气包括来源地于以下三个原则:晶圆清理废气(占总用水量60%)、的设备清扫擦拭废气(30%)及及地坪清扫擦拭废气(10%)。水环境特征描述成绩为:pH值1.5-2.5,总磷溶液浓度800-1200mg/L,氟阴阳离子分子量50-80mg/L,COD约200-300mg/L,并具有微量分析高价属(铜、锌等)。
加工加工过程流量
楼盘选取"预处置+化学工业沉淀物+高级的阳极氧化+广度脱水"的搭档技术:
上下调整池
:均衡化水质检测供水量,下设pH再线监控系统性
一层表现池
:加药系统制作石灰乳调准pH至8.5-9.0,型成Ca3(PO4)2滤渣
特殊生理反应池
:修改PAC和PAM加强斜板沉淀池目的
斜板积淀池
:实行固液离心分离,飞灰开始过滤软件
Fenton硫化单元式
:H2O2与Fe²⁺推进效果生物降解有机质物
多导电介质滤出器
:石英石砂+生物炭组合名字过滤器,抓好冒水清冽
阳离子交流模式
:逐步一个脚印剔除残留材料正离子
然后目的
系统化开机启用稳定的后,有水出水的质量:总磷≤0.3mg/L,COD≤30mg/L,氟亚铁离子≤5mg/L,每一项指标体系远高于《电商工业化的水生态破坏物出现要求》(GB 39731-2020)。几乎每年才能减少磷出现约15吨,活性污泥出现量较传统艺术生产技术大幅度降低40%,开机启用成本价调控在8.3元/吨水。