的项目环境
这项目座落华南区县的有名气半导体器件造成企业公司,主耍的生产8寸大和12寸大晶圆。发生变化产能上升,磨研制作工序造成的废冒水量从本来的200吨/日扩大到350吨/日,原先的清理生活设施已不可够满足需要,且冒水土质不稳定的,亟须扩建工程和创新废气清理系统。
污废水 成份及來源
该制造业企业研磨机电镀废水主要产于左右生产工序:
化学上的自动化磨研(CMP)废污水:包含的二钝化硅、钝化铝等磨研粒状,粒度分布在0.1-1μm范围之内
晶圆表面机磨废液:含带硅粉、金属质阴离子(铜、铝等)及几瓶生产“食品添加剂
薄片碾磨化工废水:通常材料为氢氟酸处理硅顆粒和激光切油保湿乳液
生产废水因素行为为:pH值震荡大(2-11)、自动隐藏物溶液浓度高(500-2000mg/L)、有氢化物发生器高价属和难分解设计物,COD经常在200-500mg/L规模。
进行处理制作工艺的流程
經過次数小试和中试,进而确定好通过以下的治工院艺:
调池
:布置pH同屏在线探测和一键加量装置,将焦化废水pH保持稳定在6.5-7.5位置
混凝土积淀
:加药系统配位碱式氯化铝(PAC)和阴铁离子型聚丙酰胺(PAM),搭配化学反应后进入斜板结晶池
溶气气浮
:选择区域吸附式溶气气浮,进1步的还原狗细小颗粒肥料和胶体溶液东西
多有机溶剂过虑
:用于石英石砂+活性酶类炭二级净化,保证 留水SS<10mg/L
膜加工处理机系统
:涵盖反固化装置(UF)和反固化(RO)多级,RO浓水单单除理
活性污泥净化处理
:沉淀出的和气流浮工业废水经板框压滤后土石方工程加工
要素工艺流程产品参数:混凝土时期G值掌控在60-80s⁻¹,反响用时15min;气浮分流比30%,留住用时20min;反覆盖装置通量60LMH,反覆盖回笼率75%。
最后效率
程序自动运行不稳定性后,有水出水质监测完完全全达到《智能电子轻工业水被污染的物产生的标准》(GB39731-2020)十分产生卫生防护距离符合要求,关键评价指标下面的:
SS<5mg/L(清除率>99%)
COD<30mg/L(我们要除率>93%)
铜阴离子<0.3mg/L
溢水回收率提升65%以上的
污泥处理回收利用40% compared to原流程
本项目总的投资约1200W,操作成本投入约8.5元/吨水,每一年可限制废水处理方法排卸量5亿立方米,回笼水材料4亿立方米,国家经济经济收益和环保经济收益差异性。