半导体芯片加工废水怎么处理|半导体芯片加工废水如何处理
項目视频背景
该光电器件行业地属长四角城市,关键产生加工849英寸和1249英寸晶圆,日尾气排卸规范标准废的水量约2000吨。伴随产生鑫霖环保技术繁多,废水里面的含很多种难化学降解可挥发物和天价属阴离子,老式办理办法难易提供必将要严格的尾气排卸规范标准规范标准。
废水处理成分表及因素
废液主要的渠道于3个部分:晶圆切废液包含很多硅粉和切液残渣;普通自动化设备自动化设备拋光废液中含固体硅和抛光粒状;刻蚀难以清理废液包含氟化物、铜阴离子等巨资属;光刻生产技术废液则包含光阻剂等设计被污染的物。水体特色是COD高(800-1500mg/L)、氟化物溶度高(200-400mg/L)、飘浮物多且包含微量分析巨资属。
正确处理生产技术注意事项
所采用"化学预处里+什么是生化处里+强度处里"的搭档制作工艺:
调整池动态平衡水体质量储水量
混疑沉淀自己出掉悬停物和氢氧化铁物料
物理积淀法特意治理 氟化物,添加钙盐转变成氟化钙积淀
溶解酸性反应池提高自己工业废水可生物化学性
接受氧化物池生物降解有机化学污染问题物
特异性炭吸收塔使用深浅治疗
膜剥离 模式提高认识出液水环境动态平衡
根据含铜生产废水同时软件设置阴离子对调体统,的回收利用有意义的合金铜。
从而郊果
创业项目成立 后正常运行维持,留水COD<50mg/L,氟化物浓硫酸氧化还原电位<5mg/L,铜亚铁离子浓硫酸氧化还原电位<0.3mg/L,哪项要求均远远高于中国《网络重工业水污染破坏物释放规范》(GB 39731-2020)。每月可缩减COD释放约300吨,氟化物释放约50吨,回收分类处理铜五金约2吨,完成了工作环境收益与经济增长收益的诚信。