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半导体生产废水处理案例|半导体生产废水处理方法

活动背景图 该半导体行业手工制造居民小区地处华中省市,总投资费用少于2006亿,大部位种植12寸大晶圆和现代化封装类型物料。居民小区日释放废发电量约5000吨,涉及多个制作工艺废渣,清理强度大。楼盘特殊要求废渣清理后满足《电子为了满足电子时代发展的需求,化学工业水感染物释放标准化》(GB 39731-2020)特意释放标准值,部位中水回用率不不高于60%。 废水处理工艺成分表及来源地 含氟化工废水:首要产自晶圆蚀刻、难以清理道工序,氟铝离子有机废气浓度高达hg200-500mg/L,pH值上下波动大 生物碳废污水:光刻、成像、去胶等道工序会产生,COD盐浓度300-800mg/L,含有异丙醇、二甲苯等生物碳萃取剂 含铜废气:塑胶电镀、化学物质机械化打磨抛光(CMP)步骤带来,铜阴阳离子氧浓度50-150mg/L 耐酸碱生活污水:机械设备清洁、废水洗洁等节点会产生,pH值在2-12之中价格波动 磨细废气:CMP工艺程序所产生,内含纳米级级二防氧化硅小粒 进行处理步骤流程步骤流程 用到"定义汇集+分质进行处理+广度净化工程"的组装生产技术: 含氟废水操作工艺操作线 : 有级物理凝固:先加药系统氯化钙上下调整pH至6-7,后加入PAC和PAM斜板乳浊液池凝固 渗透性钝化铝过滤:确保安全生产氟亚铁离子溶度降低5mg/L左右 活性污泥经板框压滤后代为工程专业防范 有机酸生活污水整理线 : 微钛电极预外理:铁碳微钛电极生物降解大团伙生物碳物 UASB厌氧发酵反應器:HRT=24h,COD清掉率>60% MBR膜生物工程发应器:选取PVDF双层黏胶纤维膜,通量15LMH 含铜污水办理线 : 化学上沉积:污泥脱水NaOH调pH至9-10,养成Cu(OH)2沉积 化合物交互:两极不饱和树脂交互保持铜化合物<0.3mg/L 电解法法环保再生资源回收处理:部位生产废水经电解法法环保再生资源回收处理铝合金铜 一体化治理系统的 : 调准池:均匀水质监测储水量,设爆气搅拌机 水泥混凝土析出:加药和好斜板沉淀池剂彻底清除氢氧化铁材质 臭氧的危害催化硫化硫化:生物降解塑料难生物降解塑料有机会物 反浸入设备:脱盐率>98%,产水使用于加工线 污泥干化办理系统性 : 活性污泥浓缩咖啡池:气体浓硫酸浓度从1%增强至3% 抽滤过滤:入驻PAM调整,泥饼含水分率<75% 底温干化:地方活性污泥干化至含水量率30%接下来 最中实际效果 投资项目建设工作后,每项依据不稳定性符合规格:氟化物<5mg/L、COD<30mg/L、铜亚铁离子<0.3mg/L、pH 6-9。循环水土质实现GB/T 19923-2005化工使用水进行规格,循环率65%,一年减掉最新鲜水用水量约1二十万吨。活性污泥生产量减掉40%,危害危化物外理料工费降低了35%。系统软件手动化度高,线下监测技术数剧与节能环保行政部门立即下载客户端。

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